Während Ihrer Abschlussarbeit führen Sie optische sowie FEM-Simulationen durch, um die Lichttransmission durch Siliziumwafer zu berechnen. Auf Basis der Simulationsergebnisse entwickeln Sie eine Strategie zur optischen Waferinspektion. Sie vergleichen die Simulationsergebnisse mit Messungen an laserbehandelten Wafern und identifizieren relevante Korrelationen. Darüber hinaus wirken Sie am Aufbau einer neuen Imaging-Stage zur spannungsbasierten Messung im Mikrometerbereich in der Tiefe und an der Oberfläche mit. Auch die experimentelle Korrelation mit weiteren Spannungsmessstrategien zur Charakterisierung des optischen Messsystems fällt in Ihren Verantwortungsbereich.
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